XQJ 系列干涉仪标准镜_上海星庆光学仪器有限公司

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XQJ 系列干涉仪标准镜

产品型号:XQJ

用途

技术参数

适用于各型号进口干涉仪配套球面标准镜、平面标准镜，使仪器扩展使用范围，满足高精度面形精度的检测需求。

60mm标准镜（支持定制）

F数	标准曲面率半径	曲率半径测量范围		最大口径测量范围
F数	标准曲面率半径	凸	凹	凸	凹
F0.6	17.458	1~16.8	1~140	25.5	99
F0.7	24	2~23.3	2~155	31	99
F1.0	47.1	3~46.67	4~245	43	99
F1.4	64.4	4~63.56	4~355	43	99
F2.0	113.573	5~112	5~485	54	99
F2.1D	+149.994	-	152~980	-	99
F2.8	161.63	6~160	6~385	56	99
F4.2	241.77	12~240	12~370	57	99
F5.6	326.6	14~325	14~300	57	81
F8.1	474.212	16~473	16~150	57	50
F8.4D	510.55	-	512~980	-	60
F15	913.673	6~910	-	60	-

4寸标准镜（支持定制）

F数	标准曲面率半径	曲率半径测量范围		最大口径测量范围
F数	标准曲面率半径	凸	凹	凸	凹
F0.65	38.738	3~38	3~X	61	1.538X
F0.75	48.082	4~48	4~X	64	1.333X
F1.0	79.992	6~79.9	6~X	80	1.00X
F1.5	122.77	10~122.7	10~X	80	0.667X
F2.1	192.09	15~192	12~X	91	0.476X
F3.3	308.379	20~308	12~X	93	0.303X
F4.2	390.77	25~390	14~X	93	0.238X
F4.9D	+459.279	-	460~X	-	0.204X
F5	490	8~488	14~X	97	0.20X
F6D	+640.48	-	641~X	-	0.167X
F6.2	610.256	40~610	16~X	98	0.161X
F7.1	703.29	10~702	16~X	101	0.141X
F8.1	802.146	10~802	16~X	101	0.123X
F10.7	1039.27	12~1038	18~X	101	0.093X
F11.6	1148.334	12~1148	100~X	101	0.086X
F10D	+1012.611	-	1214~X	-	0.10X
F12D	+1213	-	1214~X	-	0.083X
F15	1510.3	14~1510	130~X	102	0.067X
F16.8D	+1750	-	1752~X	-	0.0595X
F19.2D	1888.2	-	1890~X	-	0.0521X
F23	2376.61	20~2376	150~X	102	0.043X
F25	2540	20~2538	150~X	102	0.040X
F∞	∞	∞	∞	102

6寸标准镜（支持定制）

F数	标准曲面率半径	曲率半径测量范围		最大口径测量范围
F数	标准曲面率半径	凸	凹	凸	凹
F0.8	80.127	5~80	5~x	100	1.25x
F1.1	127.23	6~127	6~x	115	0.91x
F2.2	292.382	7~292	7~x	132	0.46x
F3.6	499.8	8~499	8~x	138	0.28x
F4.2	600	8~599	8~X	142.6	0.24X
F5.5	791.6	9~791	9~x	143	0.18x
F7.6	1111.3	12~1111	12~x	146	0.13x
F11	1642.96	14~1642	14~X	149.2	0.91X
F15	2271.99	16~2271	16~X	150	0.0667X
F18D	+2731.75	-	20～X	-	0.0554X
F20	3000	20~3000	20~x	150	0.05x
F30	4476.122	22~4475	22～X	150	0.0333X
F∞	∞	∞	∞	154

标准款标准面的面形偏差(PV)值小于	30nm(λ/20，@632.8nm)
高精度款标准面的面形偏差(PV)值小于	20nm(λ/30，@632.8nm)