XQJ 系列干涉仪标准镜_上海星庆光学仪器有限公司

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XQJ 系列干涉仪标准镜

产品型号:XQJ

用途

技术参数

适用于各型号进口干涉仪配套球面标准镜、平面标准镜，使仪器扩展使用范围，满足高精度面形精度的检测需求。

60mm标准镜（支持定制）

F数	标准曲面率半径	曲率半径测量范围		最大口径测量范围
F数	标准曲面率半径	凸	凹	凸	凹
F0.6	17.458	1~16.8	1~140	25.5	99
F0.7	24	2~23.3	2~155	31	99
F1.0	47.1	3~46.67	4~245	43	99
F1.4	64.4	4~63.56	4~355	43	99
F2.0	113.573	5~112	5~485	54	99
F2.8	161.63	6~160	6~385	56	99
F4.2	241.77	12~240	12~370	57	99
F5.6	326.6	14~325	14~300	57	81
F8.1	474.212	16~473	16~150	57	50
F8.4D	510.55	-	512~980	-	60
F15	913.673	6~910	-	60	-

4寸标准镜（支持定制）

F数	标准曲面率半径	曲率半径测量范围		最大口径测量范围
F数	标准曲面率半径	凸	凹	凸	凹
F0.65	38.738	3~38	3~	61	不限
F0.75	48.082	4~48	4~	64	不限
F1.0	79.992	6~79.9	6~	80	不限
F1.5	122.77	10~122.7	10~	80	不限
F2.1	192.09	15~192	15~	91	不限
F3.3	308.379	20~308	20~	93	不限
F4.2	390.77	25~390	25~	93	不限
F4.9D	+459.279	-	460~	-	不限
F6D	+640.48	-	641~	-	不限
F6.2	610.256	40~610	40~	98	不限
F8.1	802.146	60~802	60~	99	不限
F11.6	1148.334	100~1148	100~	99	不限
F12D	+1213	-	1214~	-	不限
F15	1510.3	150~1510	130~	102	不限
F23	2376.61	300~2376	150~	102	不限
F∞	∞	∞	∞	102

6寸标准镜（支持定制）

F数	标准曲面率半径	曲率半径测量范围		最大口径测量范围
F数	标准曲面率半径	凸	凹	凸	凹
F0.8	80.127	5~80	5~x	100	1.25x
F1.1	127.23	6~127	6~x	115	0.91x
F2.2	292.382	7~292	7~x	132	0.46x
F3.6	499.8	8~499	8~x	138	0.28x
F5.5	791.6	9~791	9~x	143	0.18x
F7.6	1111.3	12~1111	12~x	146	0.13x
F20	3000	20~3000	20~x	150	0.05x
F∞	∞	∞	∞	154

参考标准平面的面形偏差(PV)值小于	0.03μm(λ/20)
各参考标准球面的面形偏差(PV)值小于	0.03μm(λ/20)