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本设备以工业级六轴机械臂为运动执行单元,搭载高响应力控抛光模块与数字化工艺控制系统,构建智能化光学元件加工平台。机械臂运动定位精度达±0.02mm,重复定位精度优于±0.01mm,配合0.1N级闭环力控系统,确保加工过程动态稳定性。