大口径卧式激光平面干涉仪

产品型号:

该型号仪器采用卧式干涉检测方案，有效解决了大口径高精度平面最终检测的难题。设备采用单通道设计，不仅显著降低了制造成本，还最大限度地提升了设备性能。