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平面干涉仪
实用型激光平面干涉仪
产品型号:XQ15-GIII
特点:在保留XQ15-G I激光平面干涉仪原有用途及特点的基础上,进一步提升其实用性和适用范围。
用途
技术参数
该仪器不仅适用于大批量生产单位的生产车间和平面度、高精度平行度(角度)测量,还特别适合大平板生产流水线中的快速筛选应用。
第一标准平面(A面)
直径D1=Φ146mm,平面的面形偏差 (PV)小于0.03μm(λ/20)
第二标准平面(B面)
工作直径D=Φ140mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
准直系统
工作直径Φ146mm,焦距f=400mm
光源规格
激光ZN260(He-Ne)
最大适用尺寸
Φ500x250mm