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平面干涉仪
250mm立式激光平面干涉仪
产品型号:XQ25-GI
继承并发扬XQ15-GIII激光平面干涉仪的实用性和耐用性优势
用途
技术参数
该仪器能够更广泛地适用于大批量生产单位的生产车间,进行大口径平面及棱镜平面度检测、高精度平行度(角度)测量,还特别适合大平板生产流水线中的快速筛选应用。
第一标准平面(A面)
工作直径D=Φ250mm,平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)
第二标准平面(B面)
工作直径D=Φ250mm,平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)
准直系统
工作直径Φ250mm,焦距 f = 590mm,波象差<λ/10
工作室尺寸
550×400×300mm
光源规格
激光ZN250 (He-Ne)(632.8nm)
仪器的外形尺寸
590×450×1150mm(H)
仪器质量
200kg