ZPS干涉分析系统

产品型号:ZphaseStation®

一台机器可测量多种工件 通过更换不同的镜头平面、凹面、凸面……尽在掌握,从1993年开始制造平面干涉仪超过25年的光学设计和制造经验久负盛名的光学参考镜制造商倾尽全力推出的新一代产品。

  • 用途
  • 技术参数
  • 测量软件
     
    PhaseStation软件模块 扫描方式 单平面干涉(注1) 双平面干涉(注2)
    PhaseStation Static(注3) ×
    PhaseStation PSI 压电振镜 ×
    PhaseStation MST 波长调谐

    注1:适用于大部分工作。
    注2:通常适用于透明工件,同时对上表面下表面厚度进行测量。
    注3:基础版本,不推荐用于高精度测量。