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动态干涉仪
动态干涉仪
产品型号:4D
超高速·零振动限制·全场景适配 突破传统隔振牢笼,30微秒完成纳米级测量,让精密光学检测深入车间、真空舱、天文台等严苛环境。
用途
技术参数
·30毫秒单次采集、100毫秒单次计算:基于瞬时相移技术,单帧同步捕获4幅干涉图,比传统干涉仪快5000倍,彻底消除振动与气流干扰。纳米级精度保障:面形重复性精度达<0.7nmRMS,满足超精密制造极限需求。
·车间级抗干扰:无需隔振台,在振动、温差、气流扰动环境下直接测量(如机床旁、真空罐内)。
·轻量化设计:系统小型化,甚至可手持安装;光纤测量头支持百米级远程检测。大口径扩展:通过扩束镜升级至Φ800mm,覆盖望远镜镜片、光刻机透镜等超大元件。
分辨率
2K
采样速率
20帧/S、4张/帧
单次相位计算时间
最短100mS/每秒10次
样品反射率
1%~100%无需衰减器